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電真空器件是工業(yè)化發(fā)展過程中不可缺少的產(chǎn)品，是影響微波管性能和使用壽命的主要因素之一。因此，電真空器件的氣密性檢測是保證其產(chǎn)品性能可靠性的重要過程。
電真空器件的氣密性檢測有助于避免長期使用過程中的漏氣，保證設(shè)備在生產(chǎn)過程中發(fā)揮更高的作用。
電真空器件氣密性檢測的要點主要分為三個方面：
一是檢測方法的選擇。電真空器件的氣密性檢測結(jié)果受溫度、密封材料、氣密性檢測儀性能等不同因素的影響。由于電真空器件的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，對氣密性測量精度要求較高，電真空器件的氣密性檢測一般需要采用氣壓法和水檢法進行。氣壓法主要采用空氣作為檢測介質(zhì)。當總漏率超出允許值后就需要改用水檢法對真空器件的漏孔進行準確定位。
二是控制檢測精度。檢測精度是真空裝置氣密性檢測的重要評價指標。為了提高電真空器件的氣密性檢測數(shù)據(jù)，離不開氣密性檢測儀的支持。選擇知名度高、性能好的氣密性檢測儀品牌，使用氣密性檢測儀前對設(shè)備進行校準和靈敏度測試是確保檢測精度的有效方法。
三是漏孔定位問題的處理。電真空器件的形狀包括細管狀、復(fù)雜的斷面管狀等，形狀多而復(fù)雜。因此，在檢測電真空器件的氣密性之前，必須加強對器件結(jié)構(gòu)等特性的理解，才能有效掌握器件的特性。采用水檢法對電真空器件進行漏孔定位，可有效降低檢驗難度，提高電真空器件氣密性檢測的效果和質(zhì)量。
電真空器件的氣密性檢測專業(yè)復(fù)雜。唯有加強對器件結(jié)構(gòu)特性和性能的研究，才能選擇合適的氣密性檢測儀進行氣密性檢測，制定高效的方法，通過調(diào)節(jié)檢測環(huán)境的溫濕度，加強氣密性檢測儀的靈敏度檢測，提高檢測質(zhì)量和效率。
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